“如果我们多配两套零件，过三个月，把转动部件，整套换下来呢？”

成永兴提出了一个临时方案。

“可这样，整个腔体要切开，再焊回去，这个工作量可就大了。而且一拆装，整个东西弄不好就废了！”

王工不同意，腔体现在是一体化设计，根本没有考虑过这种情况。

“如果我们彻底修改腔体设计呢？使得这部分运动组件，单独成为模块，进而容易拆装？”

成永兴有些后悔，采用旋转加热的方案了。当时采用这套方案，也是为了后续的连续生产做准备。

在那个广告视频里，推销的就是旋转加热方案。由于被加热工件，也就是晶圆，在加热单元上方，不停旋转，所以受热均匀。另外也有利于其它的反应，产出质量高，一致性好。

视频上看动画很简单，画图设计也不复杂，但是对零部件的要求就比较高了。

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