MEMS从原理上讲，与LED相比，起步并不晚。

其相关概念，在1959年，就被一个叫做理查德·费曼的人，在他的著名演讲《底部有很多空间》里提出了。他在那次演讲上，预测了半导体微型马达的存在。为此，他还提供了1000美元的悬赏。

要知道，那可是1959年的1000美元。

在过去的30年间，陆陆续续有很多科学家和科研机构，投入人力物力，对此进行研究，也取得了一些进展。1988年第一次出现的微马达，就是这种努力的结果之一。

但这些相关研究，并没有被系统性的总结起来。

大多数成果，甚至包括大火的微马达，实际都是以半导体加工工艺，半导体材料，甚至机械的身份出现。

为了与其他半导体工艺，产品，有所区分，过去的几年间，整个业界进行了大讨论。最终，MEMS这个词，于1992年2月份，美国盐湖城举行的IEEE会议上，被提出，并最终达成共识。

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