“不止你们一家？”

曲峰十分惊讶。“还有院系想上MEMS？”

“是的。”

赵良材简单介绍了一下，最近学校里发生的一些新变化。

MEMS项目，在工大，颇有点遍地开花的架势。

MEMS的主体材料是硅，加工设备是光刻机，蚀刻机等，但归根到底，不论梳子还是悬臂梁结构，还要回到本质，机械性能以及结构计算上。其本质仍然是缩小了的机械结构。

所以，在刚刚做完的这一批传感器项目里，借用了大量机械类专业的科研狗。

随着这批项目的完成，MEMS项目的底细，也就被更多人所熟知。

实际上，在MEMS这个名字被采用之前，日本等国的部分科学家，一直把MEMS称为微机械。

微机械也是机械！

所有机械类相关的院系，如今都在张罗着上MEMS项目。

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